集成电路的工艺废气处理方式

        集成电路生产线一般是24小时运行的流水线,废气处理系统的设计应安全可靠。废气处理系统的入口静压不能波动太大,否则轻则导致工艺设备的报警,重则导致芯片的报废,只能在年度定期检修时可以考虑维持一定的静压。设计时必须考虑排风机的余量,排风机为变频风机,设计为N+1方式。比如某工厂(FAB),酸性废气的设计用量为900m3/min(风机能力)*4(台数)=3600m3/min,而在实际的设计中,必须设计5台风机,而不是4台。这样平常运行时,有5台变频风机通过控制入口静压根据处理风量自动调整风机的频率,一旦有一台风机有故障时,可以通过4台风机高速运行,确保入口静压的稳定。另外废气系统的制作材料也很关键,必须安全可靠。早期的酸碱性废气的管配件为聚氯乙烯(PVC),但酸碱性废气的成分比较复杂,集成电路一些事故表明,PVC不能满足防爆要求。现在的集成电路企业所采用的酸碱性废气的管配件为内衬聚四氟乙烯的不锈钢板;热无处理废气一般采用镀锌钢板的材料;有机废气和粉尘废气一般采用不锈钢的材料。